概要
以天然高品位石英矿为原料,经多级物理-化学联合提纯(如磁选除铁、焙烧-酸浸、超声波净化等)制得;为晶相结构,化学稳定性极强,耐高温、耐腐蚀、低膨胀、高绝缘,是电子信息产业不可或缺的“基石材料”。
核心特点
- 纯度:SiO₂≥99.995%,关键杂质(Fe、Al、Na、K、Ca、Ti、B、P)严格控至ppb级,总杂质≤50–70 μg/g。
- 低缺陷:羟基(OH⁻)含量低,光学均匀性好,无黑点、杂质点,避免芯片/光纤性能劣化。
- 稳定物性:热稳定性优异,抗析晶;机械强度高、耐磨,适配高温工艺与精密加工。
- 洁净可控:超净包装与生产环境,杜绝二次污染,确保批次一致性。
主要用途
- 半导体:单晶硅拉制坩埚原料、石英炉管/舟皿、扩散/氧化工艺部件,保障晶圆纯度与良率。
- 光纤通信:光纤预制棒外包层原料,低损耗传输的关键。
- 电子封装:球形硅微粉(D50≈5–15 μm),用于芯片封装、覆铜板,提升散热与尺寸稳定性。
- 高端光学:精密光学玻璃、透镜、光窗,高透光与低双折射。
- 新能源:光伏石英坩埚内层材料,支撑单晶硅棒拉制。
颗粒度与指标
- 常用粒度:80–300 目(约50–180 μm);下游粉体可至1000–5000 目(D50≈5–15 μm),依工艺定制。
- 纯度标准:SiO₂≥99.995%,总杂质≤50–70 μg/g。
- 关键杂质限值(典型):Fe<0.5 ppm、Al<5 ppm、Na+K+Li<3 ppm、Ti<1 ppm、B/P<0.5 ppm。
- 放射性控制:U、Th<0.1 ppb,避免半导体软错误。
衡量与检测标准
- 核心标准:参考团体标准《电子级高纯石英砂》T/TMAC XXXX—2025、电子行业标准SJ/T 3228系列。
- 检测方法:- SiO₂含量:氢氟酸溶解-差减法、ICP-OES/XRF。
- 痕量杂质:ICP-MS(测金属/非金属)、GDMS(深度杂质分析)。
- 粒度:激光粒度仪、标准筛分法。
- 外观:洁净无杂质,无黑点/色差。